He 最小可檢測(cè)泄漏率

＜5E-13Pa m3/s (1)

＜5E-12 mbar l/s (1)；＜5E-8 mbar l/s (2)

離子源

兩根長壽命銥絲，帶氧化釔涂層（三年質(zhì)保）

兩根帶氧化釔涂層的銥燈絲

檢測(cè)方法

真空式和嗅探式泄漏檢測(cè)法

真空和吸槍模式

可檢測(cè)氣體

He4，He3，H2

He4，He3，H2

內(nèi)部 He 測(cè)試泄漏

1E-8Pa m3/s

1E-7 mbar l/s

泄漏率顯示

1E-13—0.1 Pa m3/s

0.1 mbar l/s

運(yùn)行預(yù)備時(shí)間

3 min

＜3 min

響應(yīng)時(shí)間

0.5 s

＜2 s

抽速：適用于 He

2.5 l /s

最大 8 L/s(粗檢）、7 L/s(精檢）、2.5 l /s (超精檢模式）

連接法蘭

DN 25 ISO-KF

25 KF

最大進(jìn)氣壓力

25 mbar

15 mbar(粗檢），2 mbar(精檢）、0.4 mbar(超精檢）

環(huán)境溫度

運(yùn)行時(shí) 10 到 35℃

運(yùn)行時(shí) 10 到 40℃

接口

RS-232-C，RS-485

RS-232

輸出：模擬量

泄漏率信號(hào) 2 x 0-10V，線性/對(duì)數(shù)

2 x 0-10V

輸出：數(shù)字量

準(zhǔn)備開始、準(zhǔn)備測(cè)量、泄漏、錯(cuò)誤、局部流量閥

兼容 PLC，用于控制和狀態(tài)信息

電源

單 相 230VAC，50HZ

電源 230VAC，50HZ

泵組

雙極油旋片泵或者隔膜干泵配合分子泵

帶耐用的渦旋泵和多進(jìn)氣口渦輪分子泵的智能真空泵組

(1): 根據(jù)AVS 2.1

(1): 真空模式。(2): 吸槍模式